電子芯片、半導體行業

該行業廢水種類較多,含大量溶劑、氫氟酸、氨氮、重金屬離子等污染物因子,針對水質情況,我們提供:

  • 超純水回收、再利用:如芯片清洗及切割過程中的廢水,含少量顆粒物、酸堿離子及微量有機物等可深度處理后再回用做純水,主要處理工藝有超級微電解、電催化氧化、樹脂吸附工藝及膜處理單元等;
  • 含氨氮廢水處理:針對氨氮濃度高于幾百毫克升廢水,采用氣態膜工藝,可以有效回收氨溶液,一步處理到排放要求。
  • 含氟廢水:芯片制造及清洗過程中產生的高含氟廢水,采用混凝、過濾及樹脂深度處理的辦法達到含氟廢水直排標準。
  • 含氰廢水處理:根據廢水中氰根的不同狀態,采用破絡加復合高級氧化工藝,分步處理廢水,達到徹底氧化氰根至氨氮和二氧化碳,實現廢水脫毒的要求。
  • 有機廢水的處理:廢水采用一體化MBR結合特種工程生物菌,針對電子行業含溶劑、難降解廢水,進行有效生物處理,出水可穩定達到排放要求。